应用场景

成膜、溅射、蚀刻等关键半导体制造设备，在晶圆上实现晶体管单元、多层布线网络、绝缘层等。

应用效果

VS600实现了高精度、高稳定性的运动控制，满足严苛工艺要求。满足功能安全和半导体设备相关认证要求。VS580控制高精度DDR马达，实现晶圆精准传送。真绝对值系统，无需外部原点和极限开关。

市场认可

已获国内领先半导体设备厂商采用，并在晶圆厂成功投产。