应用场景

半导体加工设备前端模块（EFEM）核心部件，是用来在晶圆载具（FOUP）和加工设备之间取放晶圆的机械手臂。

应用效果

VS600实现了高速、高精的控制，满足了晶圆厂高效、高可靠性要求。一体化驱动，扁平化安装，减少安装空间和调试复杂度。位置指令陷波、自适应滤波，解决末端抖动难题。高速探针输入多达4路，本地扩展后输入24路，输出10路，节省外部IO。

市场认可

已获国内领先半导体装配厂商采用，助力装备核心零部件国产化。